Rengøring af et måls overflade gøres for at slippe af med støv eller snavs, der kan være til stede. Fire trin kan bruges til at rense metalmål:
Rengøring udføres indledningsvis med en acetonevædet, blød klud fri for fnug;
For at rense med alkohol ligner den anden procedure den første;
Rensning med deioniseret vand er det tredje trin. Målet skal tørres i en ovn i 30 minutter ved 100 grader Celsius efter at være blevet renset med deioniseret vand. For at rense oxid- og keramiske mål anbefales en "fnugfri klud".
Målet skylles med højtryksargon med lav fugtighed i det fjerde trin for at slippe af med eventuelle urenheder, der kan føre til buedannelse i sputtersystemet.
Sørg for, at dine hænder er rene og fnugfri, før du bruger målmaterialet. Læg aldrig hænderne direkte på målstoffet.
Det sprøjt, der er akkumuleret i midten og på begge sider af sputterbanen, skal fjernes gradvist for at forhindre kortslutning og buedannelse forårsaget af det snavsede hulrum under sputteringsprocessen. Dette gør det også muligt for brugeren at arbejde kontinuerligt med den maksimale effekttæthed. Sputtering.
