Apr 20, 2023 Læg en besked

Indflydelsen af ​​målbinding og linerkvalitet på belægning med stort areal

Indvirkningen af ​​målbinding og linerkvalitet på belægning med stort areal vil blive diskuteret i dette papir. Nogle materialer med lav sejhed, såsom metaller, legeringer og oxider, der er tilbøjelige til at revne, vil blive påvirket under belægningsprocessen. Det roterende mål er ofte bundet til den rustfri stålforing under klargøring, og målet er typisk bundet til kobberbagpladen, når der opstår revner. Metalindium eller andre metalforbindelser er den oftest anvendte bindebestanddel.
Det kan hjælpe med nogle få problemer relateret til målmaterialets manglende mekaniske styrke ud over at forhindre utilsigtet brud på målmaterialet under transport. For at løse problemet med begrænset udnyttelse af store mål involverer disse teknikker splejsning af mål til bagpladen. Det kan garantere korrekt elektrisk kontakt og afkøling af målmaterialet, samt beskytte mod revner i mål og ujævn sputtering.

Ujævn varmeledningsevne vil resultere i ujævn sputtering af målmaterialet (ujævn filmdannelse), ligesom overfladeknuder og udledningsfænomener. Derudover vil ujævn filmdannelse resultere i ujævn filmlagsfarve, hvilket vil påvirke hvordan det dielektriske lag ændres afhængigt af det endelige produkt. Øg naturligvis antallet af belægningsafvisninger. Som et resultat heraf påvirker målmaterialets bindingsegenskaber i høj grad, hvordan det bruges. På grund af samspillet mellem den termiske udvidelse og sammentrækning af målmaterialet og det rustfri stålrørs termiske udvidelseskoefficient, er den geometriske størrelsen af ​​nogle roterende metal- eller legeringsmål, der har god termisk ledningsevne, men som ikke kræver binding, såsom ZnAl-, ZnSn- og SiAl-mål, stiger med temperaturen.

Regularitetskoefficienten for ændringen og ændringen adskiller sig fra hinanden, derfor skal visse forbindelsesmaterialer anvendes til limning. Hvis blandingen er dårlig, vil målmaterialet opvarmes ujævnt, varmeledning vil blive hæmmet, og revner og fald vil forekomme. Disse problemer vil have betydning for belægningens kvalitet og evne til at producere varer.

Generelt har det keramiske målmateriale en dårlig varmeafledning på grund af målmaterialets høje varmeudvikling under sputteringsprocessen. Det er nemt at generere lokal varme under sputteringsprocessen, hvis bindingen har et stort areal, og bindingen er dårlig. Indium, et bindemateriale med lavt smeltepunkt, opbygges og smelter, hvilket får målmaterialet til at revne eller endda falde af.

Målbelægningen afhænger i høj grad af målmaterialets binding og foringsrørets kaliber. Dette kræver holdets professionalisme ud over årvågenhed.for at muliggøre deponering af en effektiv film.

Send forespørgsel

Hjem

Telefon

E-mail

Undersøgelse