Hvilke typer målmaterialer er der - del 1

Hvad er målmaterialerne?

Mål er faktisk et bredt begreb. Der er tre måder at klassificere målmaterialer på:

1. Ifølge de ydre dimensioner kan den opdeles i cylindriske, rektangulære, firkantede plademål og rørmål. Ifølge materialet kan målmaterialerne opdeles i metalmål, polymerkeramiske ikke-metalmål og legeringsmål osv.;

2. Ifølge materialet kan målmaterialerne opdeles i konventionelle metalmål, ædelmetalmål, sjældne jordmetalmål, ikke-metalmål, legerede sputtermål, keramiske sputtermål osv.;

3. I henhold til applikationsfeltet kan det opdeles i mål til halvledere, mål til displaypaneler, mål til solceller, mål til magnetisk optagelse mv.

Klassificering efter målform

Fælles mål er for det meste firkantede mål og runde mål, som er solide mål. I belægningsoperationen er det magnetiske felt, der genereres af den cirkulære permanente magnet på overfladen af ​​målet, ringformet, ujævn erosion vil forekomme, tykkelsesensartetheden af ​​den sputterede film er ikke god, og målets udnyttelseseffektivitet er kun omkring 20 % til 30 %. Det hule rørmål, der i øjeblikket promoveres, kan rotere rundt om en fast stangmagnet i en vis periode, og 360 graders måloverfladen kan ætses jævnt, hvilket har indlysende fordele og øger udnyttelsesgraden til 80 %.

Klassificering efter målmateriale

Konventionelle metalmål: