Der er mange typer sputtermål, høje renhedskrav og en bred vifte af anvendelsesindustrier. I dag vil vi tale om de fire typer sputtermål, der almindeligvis anvendes i fire felter, højrent aluminiummål, titaniummål, tantalmål og wolframmål. Titanium mål. Områder, de dækker, omfatter fladskærme, halvledere, opbevaring og solceller.
Aluminiumsmål (bestandens renhed 99,99 procent - 99,999 procent)
Højrent aluminium og dets legeringer er et af de mest udbredte ledende tyndfilmsmaterialer. Inden for sit anvendelsesområde kræver fremstillingen af VLSI-chips sputtering af målmetaller med meget høj renhed, typisk så høj som 99,9995 procent, mens fladskærme og solceller har en lidt lavere metalrenhed.
Titanium-mål (lagerrenhed 99,99 procent - 99,999 procent)
Titanium er et af de almindeligt anvendte barrierefilmmaterialer i VLSI-chips (det tilsvarende ledende lagmateriale er aluminium). Titanium målet vil blive brugt sammen med titanium ringen under præ-chip fremstilling. Hovedfunktionen er at assistere sputteringsprocessen af titaniummål, som hovedsageligt bruges inden for ultra-storskala chipfremstilling af integrerede kredsløb.
Titanium wolfram mål (bestanddelrenhed 99,95 procent)
Wolfram-titanium-legeringer har lav elektronmobilitet, stabile termomekaniske egenskaber, god korrosionsbestandighed og god kemisk stabilitet. I de senere år er sputtermål af wolfram-titaniumlegering blevet brugt som kontaktlagsmaterialer til gatekredsløb af halvlederchips. Derudover kan wolfram- og titaniummål også bruges som barrierelag i metalforbindelsen af halvlederenheder. Til højtemperaturmiljøer, primært til vlsI og solceller.
Tantalmål (bestandens renhed 99 procent, 99,5 procent, 99,9 procent, 99,995 procent, 99,99 procent, 99,995 procent 99,999 procent)
Med den eksplosive vækst i efterspørgslen efter elektroniske forbrugerprodukter som smartphones og tablet-computere er efterspørgslen efter high-end chips steget markant, og tantal er blevet en populær mineralressource. Men manglen på tantalressourcer gør tantalmål med høj renhed dyre, som hovedsageligt bruges i storskala integrerede kredsløb og andre områder.
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. er en højteknologisk virksomhed med speciale i produktion og salg afsprutter tantalmålog ildfaste ikke-jernholdige metalmaterialer. Produkterne er meget udbredt inden for olie, kemisk, elektronisk, kunsthåndværk, maskinfremstilling, medicinsk udstyr og andre områder. Produkterne eksporteres til lande i ind- og udland.
