At sikre, at der er lavet en stærk termisk forbindelse mellem målet og sputterpistolens kølevæg, er den mest afgørende sikkerhedsforanstaltning at tage, mens du installerer sputtermålet. Målet kan knække eller bøje under installationen, hvis kølestaven eller bagplanet er kraftigt skæv. Dette vil også have en betydelig indvirkning på den termiske ledningsevne fra det bagerste mål til målet, hvilket kan inducere varmesvigt under sputteringsprocessen. Målet vil til sidst revne eller gå glip af på grund af emission.
Et lag grafitpapir kan lægges mellem katodekølevæggen og målet for at sikre tilstrækkelig varmeledningsevne. Vær opmærksom på, at du grundigt skal undersøge og bekræfte planheden af kølevæggen til sputterpistolen og sikre, at O- ring er altid på plads.
Når du installerer målmaterialet, er det vigtigt at kontrollere og rengøre katodekølevandstanken for at sikre renheden af det kølevand, der bruges, og renheden af det snavs, der kan dannes under driften af udstyret, vil blive aflejret i katoden kølevandsbeholder. Dette vil bidrage til at sikre jævn cirkulation af kølevandet og vandindløbet og -udløbet. ikke blokeres.
Når du installerer målmaterialet, er det vigtigt at sikre, at der ikke er kontakt mellem katoden og anoden og ingen ledere, da nogle katoder er bygget med et lille mellemrum med anoden; ellers vil der ske en kortslutning.
For de nødvendige instruktioner om, hvordan du korrekt installerer målet, se venligst driftshåndbogen leveret af udstyrsproducenten. Spænd den ene bolt med hånden, derefter den anden bolt på den diagonale linje med hånden, gentag denne metode, indtil alle bolte er indsat, og stram derefter med værktøj for at fastgøre målfiksturen.
