Planar Niobium Target

Sputtering-mål kræver homogen sammensætning, passende partikelstørrelse og specifik krystallografisk orientering, og de høje krav til disse sputter-mål er alle rettet mod at opnå en ensartet filmaflejringshastighed over hele substratet. Niobium-mål bruges hovedsageligt i overfladetekniske materialer, såsom marine, kemiske og flydende krystaller, og belægningsindustrier såsom varmebestandighed, korrosionsbestandighed og høj ledningsevne. Et fladt niob-mål er et niob-mål med en diameter større end eller lig med 150 mm, som normalt kaldes et blottet mål, og brugeren svejser det først med et kobber- eller aluminium-bagmål, når det bruges, og sputter derefter for at afsætte niobium-atomer på substratmaterialet for at opnå forstøvningsbelægning. For at opnå ensartetheden af ​​belægningen skal det plane niobiummål knuse niobiumstøbekrystallerne for at sikre, at niobmålets indre struktur er fuldstændig omkrystalliseret, kornstørrelsen er mindre end 100 μπι, og den er ensartet.

Vores virksomhed leverer en ny fremstillingsmetode, herunder følgende trin: niobbarerne smedes radialt og forlænges firkantet, de smedede niobbars bejdses, og de syltede niobbars varmebehandles; Derefter fladgøres og smedes niobbarerne, de smedede niobbarrer syltes, og de syltede niobbares varmebehandles; Til sidst rulles niobiumbarerne for at opnå et plant niobiummål.

I processen med at forberede et niobiummål er smedningsprocessen en kombination af radial kvadratisk, aksial forlængelse og udfladningssmedning, således at det søjleformede krystalområde i niobiumbarren, det centrale ligeaksede krystalområde og nærheden af ​​kanten af niobium barren, metalstrømmen i den centrale del af emnet øges, ujævnheden i den centrale struktur er væsentligt forbedret, og den oprindelige støbte grove krystalstruktur er fuldstændig brudt i flere retninger under multi-retningskraft, hvilket fremmer niobium barren for at opnå en forholdsvis ensartet kornstruktur. Det undgår tilstedeværelsen af ​​skadeligt væv såsom "krystalbånd" væv og groft krystallinsk væv efterladt af den centrale del uden effektiv fragmentering; I valsefasen er deformationen af ​​niobium barrer mere ensartet, og efter forarbejdning, med den mellemliggende varmebehandlingsproces, er strukturen af ​​niobiummålmaterialet mere og mere homogen og raffineret, og endelig et ligeakset krystallinsk struktur plant niobiummål med en ensartet struktur og kornstørrelse på mindre end 100 μm opnås. Derfor blev en ligeakset krystalstruktur med ensartet væv og kornstørrelse på mindre end 100 μπι opnået ved denne fremstillingsmetode.

Populære tags: planar niobium mål, leverandører, producenter, fabrik, tilpasset, køb, pris, tilbud, kvalitet, til salg, på lager