Ta Sputter Mål

1. Dimension: Diameter 50-400mm X Tykkelse 3-28mm
2.Karakter:R05200 R05400 R05252 (Ta-2.5W) R05255 (Ta-10W)
3.Renhed: Større end eller lig med 99,95 % (Maksimum 99,99 %)
4. Omkrystalliser: Minimum 95 %
5.Kornstørrelse: Minimum 40um
6. Overfladeruhed: Maksimal Ra0.4
7. Fladhed:0.1 mm eller maksimalt 0.10 %
8. Tolerance: Diameter +/-0.254 mm

Send forespørgsel

Produkt introduktion

Yusheng metal tantal sputtering mål produktionsproces
Yusheng Metals tantalforstøvningsmålprodukter behandles fra tantalbarrer ved hjælp af EB elektronbombardement, valsning og udglødningsprocesser. Målene lavet af denne proces har ensartet krystalstruktur, tekstur og energifordeling, og den indre struktur er god.

I de seneste år er omfanget af IC (integreret kredsløb) industrien fortsat med at udvide, og chipprocesteknologi har også udviklet sig i retning af høj tæthed. Tantal bruges ofte som sputterbelægningsmateriale til diffusionsbarrierelaget i kobberforbindelsesprocessen på grund af dets stærke kemiske stabilitet. Den ensartede mikrostruktur af tantalforstøvningsmål har en direkte indvirkning på sputteringsydelsen.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). Ved fremstilling af tynde film ændres sputteringshastigheden afhængigt af måltykkelsen, hvilket påvirker stabiliteten af sputteringsprocessen.

Ta sputtering target princippet

Tantal bruges ofte til fremstilling af elektrolytiske kondensatorer på grund af dets evne til at danne tynde oxider og den beskyttende natur af oxidlaget. Fordampning blev brugt i de tidlige stadier af tantalaflejring, men da fysiske dampaflejringsteknikker såsom sputterbelægning dukkede op i slutningen af 1960'erne som overlegne metoder til tyndfilmaflejring, erstattede de fordampning.

I den fysiske dampaflejringsproces bruger ioniserede argonatomer elektromagnetisk mekanik til at påvirke målet, slå metalmålatomerne ned, og metalmålatomerne aflejres på substratet for at danne en tynd film.

tantal sputtering mål

tantalmål

Yusheng metal produktionsudstyr

Yusheng Metal har et komplet sæt videnskabelige forsknings-, produktions-, test-, salgs- og servicesystemer fra smeltning, smedning, varmvalsning, koldvalsning, efterbehandling til færdige materialer. Den har en 350KW elektronisk østbombardementsovn, en 2000T hydraulisk presse, en 1700mm vakuumglødeovn og en One 42KW og to 15KW præcisionssmedemaskiner, 14 efterbehandlingsbåndmøller, LDD120, LDD-40, LDD-40 }, LDD-8 dobbelt-line rørvalseværk, 2-valse 500T blæseværk, 4 koldvalseværker, 6 koldvalseværker Maskine, 15KW dobbeltsidet trådtrækmaskine, cylindrisk kværn, skrællemaskine, overfladesliber og en række udstyr.

product-1477-390

product-1447-391

product-1446-408

Anvendelse af tantal sputtering mål

Tantalforstøvningsmålmaterialet er lavet af trykbehandlede tantalplader og har egenskaberne høj renhed, fine korn, god omkrystallisationsstruktur og god tre-akset konsistens.
Tantalforstøvningsmål er meget udbredt i den optoelektroniske industri og halvlederindustrien. De bruges hovedsageligt til forstøvningsaflejring af katodeforstøvningsbelægninger, højvakuumsugende aktive materialer, optiske fibre, halvlederskiver, integrerede kredsløb osv. De er en vigtig del af tyndfilmteknologi.

202303061121351610a9b7fc6b401bb34eaf1612b007bd

Baoji Yusheng Metal Teknologi Co.% 2c Ltd.er en global leverandør af dele til behandling af sjældent guld, tantal, niobium, vanadium, zirconium og hafnium. Det producerer hovedsageligt ledninger, stænger, plader, rør, ringe, digler osv. og andre ikke-standardiserede specialdele. Vi vil regelmæssigt frigive information relateret til vores virksomheds produkter og materialediscipliner, der dækker hele kæden af materialeteknologisk forskning og udvikling, industrialisering af materialepræstationer, anvendelse og promovering af materialeprodukter, agglomeration af materialeindustrien og materialeindustriens økologi. Du er til enhver tid velkommen til at kontakte os.