Anvendelsesområder for tantalmålmaterialer

Hovedsagelig brugt i fysisk dampaflejring og andre processer, under sputteringsprocessen, bombarderes atomer på overfladen af ​​tantalmål og aflejres i form af en tynd film på substratet for at opnå det ønskede tyndfilmmateriale.
Smeltepunktet for tantal er så højt som 2996 grader, hvilket gør det muligt for tantalmål at opretholde god strukturel stabilitet i høje-temperaturforstøvningsmiljøer og ikke let deformeres eller fordampe. Densiteten er normalt over 16,6 g/cm³, hvilket kan reducere revne- eller deformationsproblemer under sputtering, samtidig med at partikelsprøjt reduceres og filmkvaliteten forbedres. Ved sputtertemperaturen er den ikke let flygtig, hvilket sikrer minimalt tab af målmaterialet under sputteringsprocessen og giver stabile tantalatomer til tyndfilmaflejring.
Tantals kemiske egenskaber er meget stabile, og det reagerer næsten ikke med andre syrer end flussyre og varm koncentreret svovlsyre. Den kan også bruges i lang tid i barske kemiske miljøer, og tantalfilmen fremstillet af den har også god korrosionsbestandighed. Tantaloverfladen er tilbøjelig til at danne en tæt og stabil tantaloxidpassiveringsfilm, som effektivt kan forhindre yderligere oxidationskorrosion og forbedre materialets levetid.
Ansøgningsfelt
I produktionen af ​​integrerede kredsløb bruges tantalmålmaterialer til at forberede diffusionsbarrierelag, forhindre kobberforbindelser i at diffundere ind i siliciumsubstrater, forbedre enhedens pålidelighed og ydeevne og kan også bruges som gatematerialer eller en del af metalgates til MOSFET'er, såvel som kondensatorelektroder i hukommelsesenheder med høj-densitet, såsom DRAM.
I produktionen af ​​flydende krystalskærme (LCD'er) og organiske-lysemitterende dioder (OLED'er) bruges tantalmål til at forberede elektroderne og ledningslagene af tyndfilmtransistorer (TFT'er). Deres stabilitet og ledningsevne hjælper med at forbedre skærmkvaliteten. Derudover kan de også bruges som tynde filmindkapslingslag i OLED'er for at forlænge enhedens levetid.
Anvendes til fremstilling af optiske film såsom antireflekterende belægninger eller filtre, tantalfilm med høj -renhed har ensartet brydningsindeks og god holdbarhed, velegnet til præcisionsoptiske instrumenter såsom kameralinser og laserenheder. I kemiske, petroleums-, marine- og andre miljøer kan anti-korrosionsbelægninger fremstillet af tantalmålmaterialer effektivt beskytte udstyr, rørledninger og beholdere mod korrosion.